創「芯」共贏，智造價值 百年品牌Festo為半導體產業打造一站式自動化解決方案

Festo半導體自動化方案於半導體展1館1樓J3146攤位，邀請業界同仁一同以自動化為產業注入新動能。Festo

2025年全球自動化領導品牌Festo迎來百年華誕，秉持技術創新與卓越品質，持續為半導體產業注入動能。在SEMICON Taiwan 2025中，以「創芯共贏，智造價值」為主題，展示多項先進自動化解決方案，推動產業智慧升級。

身為自動化技術和技術培訓領域的世界領先供應商， Festo憑藉在多個領域的豐富經驗，包括半導體、電子和組裝、新能源汽車產業、太陽能、生物技術和製藥、化學、水處理、食品和包裝產業以及醫療技術和實驗室自動化等，正透過氣動與電動自動化、數位控制系統的組合，為全球半導體製造業發展賦能。面對半導體製程日益精密的挑戰，Festo推出多款解決方案：

翹曲晶圓解決方案

採用壓電閥以及Festo專利控制技術，先將翹曲晶圓進行量測，再從chuck上施以分區的正/負壓控制，為不同翹曲形狀(bow/umbrella/saddle)的晶圓達到有效的吸附與整平。獨特的氣動控制技術可以為先進封裝在晶圓翹曲的問題上提供完美的解決方案。

先進封裝的製程點塗膠及植散熱片壓合機方案

Festo高速閥具備極低的洩漏率、高頻響應性能、以及低功耗線圈設計，非常適合應用於塗膠製程中，能精準控制出膠量，提高製程穩定性與品質。塗膠完成後，接續進行散熱片的安裝與壓合製程。Festo壓電產品搭配EtherCAT通訊方案，能一次控制多達10個氣缸出力，也就是10個通道的壓力，實現高精度的壓力調節，並節省配線複雜度、促進製程數位化。

Gate Valve門閥開關減震方案

透過精細的壓電控制技術，可以有效降低slit/gate valve於關門時的衝擊力，以減少揚塵與震動，對於提升良率與延長門閥壽命有顯著的效果 。

Festo AX–以人工智慧為半導體設備提供預測性維護的解決方案

僅利用設備現有的感測器訊號，Festo AX系統即可透過分析現有數據實現預測性維護。無論是氣缸、電缸、真空產生器或吸盤等常見設備元件，AX都能協助客戶在最小改動的前提下，賦予設備預測性維護的能力，大幅提升設備可靠性與維護效率。

Festo台灣區新任總經理呂瑞豐，將率領專門的半導體團隊，快速回應台灣半導體市場的需求，強化Festo在台灣半導體及高科技市場的服務能力，與業界夥伴共創美好未來。

Festo誠摯邀請業界同仁於半導體展期間蒞臨1館1樓J3146攤位，親身體驗領先業界的半導體自動化方案，一同以自動化為產業注入新動能。更多資訊請上Festo中文官方網站。