High-NA EUV太昂貴 英特爾CFO：14A製造成本高於18A
- 李佳翰／綜合報導
美國晶片大廠英特爾（Intel）財務長David Zinsner日前坦言，次世代14A製程生產成本將高於18A製程節點。理由在於14A將首次全面導入ASML的高數值孔徑極紫外光曝光設備（High-NA EUV）Twinscan EXE:5200B。
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